水濂式精密洗淨系統(Mega Sonic Line Shower) Mega Sonic Line Shower 應用於LCD面板枚葉式輸送製程中之高頻精密超音波 純水洗淨,其工作原理為,於流水中導入每秒1佰萬次以上的超音波振盪(MEGA SONIC),並藉由水中高頻超音波產生之物理現象(微渦流)去除微粒子 (Particle) 1.0u以下,0.1u以上,達到精密洗淨之需求。 一、 Mega Sonic Line Shower 結構示意
Power Supply產生(1∼1.6 MHz)之 AC電源,加於壓電陶瓷片上,使壓電陶瓷片 產生(1∼1.6MHz)之厚度方向振動,並將此超音波振動傳至金屬振動板,並透過金 屬振動板將高頻超音波傳入流水,而在流水中產生空穴效應(微渦流)來達到清 洗效果。 二、M.S.Line Shower洗淨系統之基本要求 1、可24小時連續生產 2、超音波功率(音壓)可調整,一般範圍為10%~100%可調(尤其M.S.) 3、超音波功率(音壓)穩定 4、具水量不足檢測停機功能 5、具故障檢測(過熱、過電流保護停機功能) 6、具功率、電壓、電流等…指示功能(設備工程師調整參考用) 7、具與機台連線功能(因一般多應用於自動化生產線) 8、超音波洗淨系統本身之潔淨度(組裝環境、零件潔淨度、無塵包裝) 9、超音波洗淨系統供應商具備快速服務能力 10、超音波洗淨振盪器機構之材質要求 11、電氣特性之出廠測試報告 三、M.S.Line Shower之基本驗證項目 1、超音波洗淨系統之壽命 2、線上作業時所產生之Particle數量及大小 3、超音波水中音壓之大小 四、M.S.Line Shower工作(超音波發射)圖示
五、M.S.Line Shower新品規格說明及各廠牌之再生重修 1、本公司業務項目含(Shibaura、DNS、Kaijo、Branson等……各廠牌之M.S. Line Shower及power supply之維修。 2、M.S. Line Shower新品規格介紹 (1)、M.S. Line Shower規格
(2)、M.S. Line Shower Power Supply規格
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